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產(chǎn)品介紹
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石英管充氣系統

所屬分類(lèi)
等離子體研究設備
1、極限真空度：優(yōu)于5.0×10-4Pa；工作真空度：10sccm（氙氣）條件下＜2.0×10-2Pa；系統漏率：1.0×10-7Pa.L/S；2、石英管管道：采用石英材料；3、航插固定法蘭組件：DN100的法蘭上，安裝有兩套航空插頭；4、射頻插座固定法蘭組件：DN100的法蘭上，安裝兩個(gè)射頻插座；5、氣路組件：5.1、兩路供氣，氣體流量通過(guò)質(zhì)量流量計控制，氮氣標定；5.2、絕緣進(jìn)氣法蘭固定在DN
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產(chǎn)品描述
參數

1、極限真空度：優(yōu)于5.0×10-4Pa；工作真空度：10sccm（氙氣）條件下＜2.0×10-2Pa；系統漏率：1.0×10-7Pa.L/S；

2、石英管管道：采用石英材料；

3、航插固定法蘭組件：DN100的法蘭上，安裝有兩套航空插頭；

4、射頻插座固定法蘭組件：DN100的法蘭上，安裝兩個(gè)射頻插座；

5、氣路組件：

5.1、兩路供氣，氣體流量通過(guò)質(zhì)量流量計控制，氮氣標定；

5.2、絕緣進(jìn)氣法蘭固定在DN80法蘭上，共兩路。

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產(chǎn)品展示

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