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上海光源彎鐵光束線(xiàn)水冷四刀白光狹縫
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上海光源彎鐵光束線(xiàn)水冷四刀白光狹縫

狹縫開(kāi)口尺寸水平方向0-70mm垂直方向0-10mm刀口范圍水平方向-2-37mm垂直方向-2-7mm運動(dòng)精度分辨率水平方向10μm垂直方向4μm重復精度水平方向25μm垂直方向20μm定位精度水平方向25μm垂直方向20μm直線(xiàn)度水平方向20μm/全程垂直方向10μm/全程垂直刀口平行度200μm刀口材料Ta(吸收體OFHC)真空度~10-7Pa(靜態(tài)真空)
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產(chǎn)品描述
參數
狹縫開(kāi)口尺寸
水平方向
0-70mm
垂直方向
0-10mm
刀口范圍
水平方向
-2-37mm
垂直方向
-2-7mm
運動(dòng)精度
分辨率
水平方向
10μm
垂直方向
4μm
重復精度
水平方向
25μm
垂直方向
20μm
定位精度
水平方向
25μm
垂直方向
20μm
直線(xiàn)度
水平方向
20μm/全程
垂直方向
10μm/全程
垂直刀口平行度
200μm
刀口材料
Ta(吸收體OFHC)
真空度
~10-7Pa(靜態(tài)真空)

 

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