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產(chǎn)品介紹
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1016
204-1

彎鐵白光狹縫

1.系統總漏率：小于1×10-8Pal/s；2.狹縫開(kāi)口尺寸：水平方向：0-70mm；垂直方向：0-10mm；3.刀口運動(dòng)行程：水平方向：-5-37mm；垂直方向：-5-7mm；4.上下刀口平行度：100um；最大吸收熱功率：200w。
1016
204-1
產(chǎn)品描述
參數
1. 系統總漏率：小于1×10-8Pal/s；
2. 狹縫開(kāi)口尺寸：水平方向：0-70mm；
垂直方向：0-10mm；
3. 刀口運動(dòng)行程：水平方向：-5-37mm；
垂直方向：-5-7mm；
4. 上下刀口平行度：100um；
最大吸收熱功率：200w。
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