TH- 1400 真空退火爐
一、用途：該設備用于器件真空除氣、退火及釬焊。
二、技術(shù)指標：
1. 系統空載極限真空度≤2×10-4Pa,（冷態(tài)）；工作真空度≤1×10-3Pa（1400℃，持續時(shí)間10小時(shí)以上）
2. 分子泵啟動(dòng)正常工作30分鐘后，真空度進(jìn)入10-2Pa；
3. 加熱系統：最高加熱溫度：1500℃，工作使用溫度：900℃～1400℃；溫度均勻性±5℃，控溫精度：±2℃；
4. 爐膛有效空間≥Ø300×600m；有效均溫區≥Ø200×400mm；
5. 鼠籠式鉬片加熱器,五層屏蔽結構,鉬工件托盤(pán)；
6. 料盤(pán)支架（載物臺）：在爐膛內，安裝放置被處理樣品的支撐托盤(pán)，采用鉬工件料托架，尺寸為：120×L500（mm），厚度為10毫米，通過(guò)鉬支撐桿固定在真空室內壁上；
7. 退火爐保溫屏蔽組件：加熱體外部為金屬隔熱套（屏蔽層），金屬隔熱套外部為多層金屬隔熱屏，共五層：靠近加熱體屏蔽層采用金屬鉬（共2層），高溫鉬兩層，一層普通鉬，最外3層采用不銹鋼屏蔽層；在真空室兩端（含前開(kāi)門(mén)）各有一套多層金屬隔熱屏（也是五層，與圓周設置一樣）；
8. 額定加熱總功率：最大60Kw；
9. 系統采用觸摸屏+PLC控制方式，具備控制軟件，可以設定并實(shí)時(shí)顯示工藝過(guò)程中的溫度、真空度等參數。
三、系統組成：
本設備主要由真空室系統、真空抽氣及測量系統、加熱及控溫系統、電器控制系統、充氣系統、輔助系統等幾部分組成。
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