氖氣退火爐
主要技術(shù)指標：
1.設備結構形式：采用立式鐘罩升降機構、不銹鋼材料，雙層水冷真空爐體、帶有觀(guān)察窗；
2.系統空載極限真空度：≤5.0×10-5Pa （冷態(tài)）；
3.工作真空度：≤1.0×10-4Pa （600℃）；
4.最高加熱溫度：800℃，溫度均勻性±5℃（200℃～800℃），控溫精度：±1℃；
5.爐膛有效空間：≥φ300mm×400mm ；
6.加熱結構：鼠籠式電阻加熱器，三層屏蔽結構，高溫合金工作托盤(pán)；
7.加熱方式：三區加熱、獨立測溫控溫方式，PID智能溫控儀程序控溫；采用低電壓大電流加熱電源；
8.工藝氣體：真空室爐體帶有法蘭借口（CF16）兩個(gè)，一個(gè)用于工藝氣體（氖氣），一個(gè)用于解除真空（充干燥氮氣）；
9.在抽氣過(guò)程中，如系統突然暴露大氣，應能處于保護狀態(tài)，避免部件的損壞。停電、停水以及系統不能維持真空狀態(tài)，設備帶有保護裝置，整個(gè)系統連鎖保護‘
10.系統采用計算機控制方式，自帶軟件，可以設定并實(shí)時(shí)顯示工藝過(guò)程中的溫度、真空度等參數。工藝參數結果可以輸出到Windows Office軟件中。
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