雙脈沖沉積注入系統
一、系統技術(shù)指標：
1、真空系統：
1.1、采用真空泵作為真空獲得系統，由兩級泵設計，分別為中科科儀1600L/s分子泵+ 16L/s北京優(yōu)成機械泵；
1.2、真空腔的極限真空度要求優(yōu)于1.0x10-4Pa；泄露小于6.7×10-7PaL/S；要求從大氣到1.0x10-3Pa時(shí)間優(yōu)于30分鐘；
1.3、真空機組由甲方采購。
2、真空腔體：
2.1、主體：壁厚5mm，材質(zhì)為304不銹鋼，內腔凈尺寸Ф500mm球形真空室；
2.2、腔體進(jìn)行拋光處理和應力處理，保證3年內真空室主體無(wú)變形，無(wú)泄露；
2.3 要求真空室與地絕緣。
3、MEVVA源：
3.1、 要求MEVVA源與真空室絕緣；
3.2、 要求MEVVA源與真空室通過(guò)氣動(dòng)閥連接；
3.3、 弧源由甲方自備。
4、脈沖磁過(guò)濾等離子源：
4.1、要求脈沖磁過(guò)濾等離子源與真空室絕緣；
4.2、脈沖磁過(guò)濾等離子源由甲方自備。
5、工件架：
5.1、共兩套樣品架；分別為柱狀樣品架和盤(pán)狀樣品架；
5.2、樣品架每次可安裝8個(gè)樣品，樣品與樣品之間的距離80mm，離源口最近的樣品與源口的距離為100mm是兩套樣品架；
5.3、樣品具有自轉和公轉功能，并且帶有剎車(chē)裝置，通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封；
5.4、要求每個(gè)樣品相MEVVA源和脈沖磁過(guò)濾等離子源都有定位和轉動(dòng)功能；
5.5、要求樣品架與地絕緣，耐壓值≥1KV。
6、設計系統具有有斷水報警，切斷相應電源功能。
二、系統設計：
該系統主要由真空抽氣及真空測量系統、真空室系統、工件架系統、弧源系統、Mena源系統、電器控制系統、輔助系統等組成。
三、質(zhì)量保證措施：
公司所有產(chǎn)品將嚴格按照ISO9001:2000質(zhì)量認證體系要求，嚴格過(guò)程控制體系，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
1、公司所有產(chǎn)品設計采用Solid Edge進(jìn)行三維設計；
2、對每個(gè)項目有嚴格的圖紙評審程序；
3、原材料的采購有嚴格的管理制度，保證材料和配套部件的質(zhì)量和可靠性；
4、編制加工工藝，每道工序有專(zhuān)職的檢驗員進(jìn)行檢測，決不允許不合格工序和不合格最
終零部件在此使用；
5、嚴格按照設備安裝調試程序進(jìn)行清洗、檢漏裝配以及調試；
6、由專(zhuān)職質(zhì)量管理者代表對設備進(jìn)行最終驗收。
產(chǎn)品展示
總 機：024-23758583
傳 真：024-89422961
總經(jīng)理電話(huà)：13804984297/024-23758583-607
市 場(chǎng) 部（售后服務(wù)）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈陽(yáng)市蘇家屯區大淑堡瑰香街83-5號
Copyright ? 2022 沈陽(yáng)騰鰲真空技術(shù)有限公司 All Rights Reserved
遼ICP備15018801號 網(wǎng)站建設：中企動(dòng)力 沈陽(yáng) SEO標簽
手機二維碼
024-23758583
在線(xiàn)留言 