服務(wù)熱線(xiàn):

產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
98
222-1
222-2

雙脈沖沉積注入系統

所屬分類(lèi)
沉積注入設備
一、系統技術(shù)指標:1、真空系統:1.1、采用真空泵作為真空獲得系統,由兩級泵設計,分別為中科科儀1600L/s分子泵+16L/s北京優(yōu)成機械泵;1.2、真空腔的極限真空度要求優(yōu)于1.0x10-4Pa;泄露小于6.7×10-7PaL/S;要求從大氣到1.0x10-3Pa時(shí)間優(yōu)于30分鐘;1.3、真空機組由甲方采購。2、真空腔體:2.1、主體:壁厚5mm,材質(zhì)為304不銹鋼,內腔凈尺寸Ф500mm球形
98
222-1
222-2
產(chǎn)品描述
參數

一、系統技術(shù)指標:

1、真空系統:

1.1、采用真空泵作為真空獲得系統,由兩級泵設計,分別為中科科儀1600L/s分子泵+ 16L/s北京優(yōu)成機械泵;

1.2、真空腔的極限真空度要求優(yōu)于1.0x10-4Pa;泄露小于6.7×10-7PaL/S;要求從大氣到1.0x10-3Pa時(shí)間優(yōu)于30分鐘;

1.3、真空機組由甲方采購。

2、真空腔體:

2.1、主體:壁厚5mm,材質(zhì)為304不銹鋼,內腔凈尺寸Ф500mm球形真空室;

2.2、腔體進(jìn)行拋光處理和應力處理,保證3年內真空室主體無(wú)變形,無(wú)泄露;

2.3  要求真空室與地絕緣。

3、MEVVA源:

3.1、 要求MEVVA源與真空室絕緣;

3.2、 要求MEVVA源與真空室通過(guò)氣動(dòng)閥連接;

3.3、 弧源由甲方自備。

4、脈沖磁過(guò)濾等離子源:

4.1、要求脈沖磁過(guò)濾等離子源與真空室絕緣;

4.2、脈沖磁過(guò)濾等離子源由甲方自備。

5、工件架:

5.1、共兩套樣品架;分別為柱狀樣品架和盤(pán)狀樣品架;

5.2、樣品架每次可安裝8個(gè)樣品,樣品與樣品之間的距離80mm,離源口最近的樣品與源口的距離為100mm是兩套樣品架;

5.3、樣品具有自轉和公轉功能,并且帶有剎車(chē)裝置,通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封;

5.4、要求每個(gè)樣品相MEVVA源和脈沖磁過(guò)濾等離子源都有定位和轉動(dòng)功能;

5.5、要求樣品架與地絕緣,耐壓值≥1KV。

6、設計系統具有有斷水報警,切斷相應電源功能。

二、系統設計:

    該系統主要由真空抽氣及真空測量系統、真空室系統、工件架系統、弧源系統、Mena源系統、電器控制系統、輔助系統等組成。

三、質(zhì)量保證措施:

    公司所有產(chǎn)品將嚴格按照ISO9001:2000質(zhì)量認證體系要求,嚴格過(guò)程控制體系,保證產(chǎn)品質(zhì)量。

1、公司所有產(chǎn)品設計采用Solid Edge進(jìn)行三維設計;

2、對每個(gè)項目有嚴格的圖紙評審程序;

3、原材料的采購有嚴格的管理制度,保證材料和配套部件的質(zhì)量和可靠性;

4、編制加工工藝,每道工序有專(zhuān)職的檢驗員進(jìn)行檢測,決不允許不合格工序和不合格最

終零部件在此使用;

5、嚴格按照設備安裝調試程序進(jìn)行清洗、檢漏裝配以及調試;

6、由專(zhuān)職質(zhì)量管理者代表對設備進(jìn)行最終驗收。

掃二維碼用手機看
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
下一個(gè)

產(chǎn)品展示

高溫化學(xué)氣相沉積系統
更多 白箭頭 黑箭頭
磁控濺射真空室
更多 白箭頭 黑箭頭
微小靶腔常溫檢漏裝置
更多 白箭頭 黑箭頭
相容性試驗系統
更多 白箭頭 黑箭頭

Copyright ? 2022 沈陽(yáng)騰鰲真空技術(shù)有限公司 All Rights Reserved

img

手機二維碼

黄片无码在线观看_亚洲AV无码专区A片波霸影院_性爱AV在线_成人播放器