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MEVVA沉積注入復合機系統

所屬分類(lèi)
沉積注入設備
一、主要用途??主要用于金屬材料表面改性及特種功能薄膜的制備二、技術(shù)指標?1.極限真空度：1×10-5Pa；?2.系統結構：Φ600球形前開(kāi)門(mén)；?3.轉靶靶臺與靶室絕緣，耐壓值大于3000V；?4.靶室為非磁性材料；?5.靶室整體對地絕緣，絕緣電阻大于10MΩ。三、系統組成：???本系統主要由真空抽氣系統、真空室系統、MEVVA源系統、工件架系統及控制系統等組成。
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產(chǎn)品描述
參數

一、主要用途
    主要用于金屬材料表面改性及特種功能薄膜的制備

二、技術(shù)指標
 1.極限真空度：1×10-5Pa；
 2.系統結構：Φ600球形前開(kāi)門(mén)；
 3.轉靶靶臺與靶室絕緣，耐壓值大于3000V；
 4.靶室為非磁性材料；
 5.靶室整體對地絕緣，絕緣電阻大于10MΩ。

三、系統組成：
     本系統主要由真空抽氣系統、真空室系統、MEVVA源系統、工件架系統及控制系統等組成。

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