產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
MEVVA沉積注入復合機
所屬分類(lèi)
沉積注入設備
產(chǎn)品描述
參數
一、主要用途
主要用于金屬材料表面改性及特種功能薄膜的制備。
二、技術(shù)指標
1.極限真空度:1×10-5Pa;
2.系統結構:Φ600球形前開(kāi)門(mén);
3.轉靶靶臺與靶室絕緣,耐壓值大于3000V;
4.靶室為非磁性材料;
5.靶室整體對地絕緣,絕緣電阻大于10MΩ。
三、系統組成:
本系統主要由真空抽氣系統、真空室系統、MEVVA源系統、工件架系統及控制系統等組成。
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上一個(gè)
雙180°沉積注入系統
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MEVVA沉積注入復合機系統
產(chǎn)品展示

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傳 真:024-89422961
總經(jīng)理電話(huà):13804984297/024-23758583-607
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