金剛石屏蔽制備沉積注入系統
一、系統技術(shù)指標：
1、真空系統：
1.1、采用真空泵作為真空獲得系統，由兩級泵設計，分別為中科科儀1600L/s分子泵+ 18L/s北京優(yōu)成機械泵；
1.2、真空腔的極限真空度要求優(yōu)于1.0x10-4Pa；泄露小于6×10-7PaL/S；要求從大氣到1.0x10-3Pa時(shí)間優(yōu)于30分鐘；
1.3、真空機組由甲方采購。
2、真空腔體：
2.1、主體：壁厚5mm，材質(zhì)為1Cr18Ni9Ti不銹鋼，外腔凈尺寸Ф400mm*350mm；
2.2、腔體進(jìn)行拋光處理和應力處理，保證3年內真空室主體無(wú)變形，無(wú)泄露；
2.3 要求真空室與地絕緣；
2.4、真空室內表面設置防污板。
3、弧源：
3.1、要求弧源與真空室絕緣；
3.2、弧源由甲方自備。
4、Mena源：
4.1、要求Mena源與真空室絕緣；
4.2、要求Mena源與真空室通過(guò)氣動(dòng)閥連接；
4.3、Mena源由甲方自備。
5、工件架：
5.1、一次鍍4個(gè)樣品，樣品尺寸為：150mmX150mm厚度為1-2mm不等的矩形樣品；
5.2、樣品具有自轉和公轉功能，通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封；樣品自轉和公轉0～10 轉/分鐘, 定位轉速0～3 轉/分鐘，轉速可調，并且要求自轉和公轉電機都要具備剎車(chē)功能；
5.3、要求每個(gè)樣品相當弧源和Mena源都有定位和轉動(dòng)功能。
5.4、要求樣品架與地絕緣，耐壓值≥1KV。
6、設計系統具有有斷水報警，切斷相應電源功能。
產(chǎn)品展示
總 機：024-23758583
傳 真：024-89422961
總經(jīng)理電話(huà)：13804984297/024-23758583-607
市 場(chǎng) 部（售后服務(wù)）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈陽(yáng)市蘇家屯區大淑堡瑰香街83-5號
Copyright ? 2022 沈陽(yáng)騰鰲真空技術(shù)有限公司 All Rights Reserved
遼ICP備15018801號 網(wǎng)站建設：中企動(dòng)力 沈陽(yáng) SEO標簽
手機二維碼
024-23758583
在線(xiàn)留言 