金剛石屏蔽制備沉積注入系統
一、系統技術(shù)指標:
1、真空系統:
1.1、采用真空泵作為真空獲得系統,由兩級泵設計,分別為中科科儀1600L/s分子泵+ 18L/s北京優(yōu)成機械泵;
1.2、真空腔的極限真空度要求優(yōu)于1.0x10-4Pa;泄露小于6×10-7PaL/S;要求從大氣到1.0x10-3Pa時(shí)間優(yōu)于30分鐘;
1.3、真空機組由甲方采購。
2、真空腔體:
2.1、主體:壁厚5mm,材質(zhì)為1Cr18Ni9Ti不銹鋼,外腔凈尺寸Ф400mm*350mm;
2.2、腔體進(jìn)行拋光處理和應力處理,保證3年內真空室主體無(wú)變形,無(wú)泄露;
2.3 要求真空室與地絕緣;
2.4、真空室內表面設置防污板。
3、弧源:
3.1、要求弧源與真空室絕緣;
3.2、弧源由甲方自備。
4、Mena源:
4.1、要求Mena源與真空室絕緣;
4.2、要求Mena源與真空室通過(guò)氣動(dòng)閥連接;
4.3、Mena源由甲方自備。
5、工件架:
5.1、一次鍍4個(gè)樣品,樣品尺寸為:150mmX150mm厚度為1-2mm不等的矩形樣品;
5.2、樣品具有自轉和公轉功能,通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封;樣品自轉和公轉0~10 轉/分鐘, 定位轉速0~3 轉/分鐘,轉速可調,并且要求自轉和公轉電機都要具備剎車(chē)功能;
5.3、要求每個(gè)樣品相當弧源和Mena源都有定位和轉動(dòng)功能。
5.4、要求樣品架與地絕緣,耐壓值≥1KV。
6、設計系統具有有斷水報警,切斷相應電源功能。
產(chǎn)品展示

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