產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
沉積注入系統
所屬分類(lèi)
沉積注入設備
產(chǎn)品描述
參數
主要技術(shù)指標:
1.極限真空度:優(yōu)于1.0×10-4Pa;
2.漏率:小于6.7×10-7Pa.L/S ;
3.從大氣到1.0×10-3Pa時(shí)間優(yōu)于25分鐘(從開(kāi)啟機械泵算);
4.共三套樣品架:分別為柱狀樣品架、盤(pán)狀樣品架和球狀樣品架;
5.樣品具有自轉和公轉功能,通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封;
6.要求每個(gè)樣品相MEVVA源和脈沖磁過(guò)濾等離子源都有定位和轉動(dòng)功能;
7.要求樣品架與地絕緣,耐壓值≥1KV;
8.樣品需要加熱,溫度為:室溫—400℃,溫度可調可控;
9.設計系統具有斷水報警,切斷相應電源功能。
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DLC沉積注入系統
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金剛石屏蔽制備沉積注入系統
產(chǎn)品展示

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