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產(chǎn)品介紹
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92

沉積注入系統

所屬分類(lèi)
沉積注入設備
主要技術(shù)指標：1.極限真空度：優(yōu)于1.0×10-4Pa；2.漏率：小于6.7×10-7Pa.L/S；3.從大氣到1.0×10-3Pa時(shí)間優(yōu)于25分鐘（從開(kāi)啟機械泵算）；4.共三套樣品架：分別為柱狀樣品架、盤(pán)狀樣品架和球狀樣品架；5.樣品具有自轉和公轉功能，通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封；6.要求每個(gè)樣品相MEVVA源和脈沖磁過(guò)濾等離子源都有定位和轉動(dòng)功能；7.要求樣品架與地絕緣，耐壓值≥1KV；8.
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產(chǎn)品描述
參數

主要技術(shù)指標：

1.極限真空度：優(yōu)于1.0×10-4Pa；

2.漏率：小于6.7×10-7Pa.L/S ；

3.從大氣到1.0×10-3Pa時(shí)間優(yōu)于25分鐘（從開(kāi)啟機械泵算）；

4.共三套樣品架：分別為柱狀樣品架、盤(pán)狀樣品架和球狀樣品架；

5.樣品具有自轉和公轉功能，通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封；

6.要求每個(gè)樣品相MEVVA源和脈沖磁過(guò)濾等離子源都有定位和轉動(dòng)功能；

7.要求樣品架與地絕緣，耐壓值≥1KV；

8.樣品需要加熱，溫度為：室溫—400℃，溫度可調可控；

9.設計系統具有斷水報警，切斷相應電源功能。

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產(chǎn)品展示

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