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產(chǎn)品介紹
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92

沉積注入系統

所屬分類(lèi)
沉積注入設備
主要技術(shù)指標:1.極限真空度:優(yōu)于1.0×10-4Pa;2.漏率:小于6.7×10-7Pa.L/S;3.從大氣到1.0×10-3Pa時(shí)間優(yōu)于25分鐘(從開(kāi)啟機械泵算);4.共三套樣品架:分別為柱狀樣品架、盤(pán)狀樣品架和球狀樣品架;5.樣品具有自轉和公轉功能,通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封;6.要求每個(gè)樣品相MEVVA源和脈沖磁過(guò)濾等離子源都有定位和轉動(dòng)功能;7.要求樣品架與地絕緣,耐壓值≥1KV;8.
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產(chǎn)品描述
參數

主要技術(shù)指標:

1.極限真空度:優(yōu)于1.0×10-4Pa;

2.漏率:小于6.7×10-7Pa.L/S ;

3.從大氣到1.0×10-3Pa時(shí)間優(yōu)于25分鐘(從開(kāi)啟機械泵算);

4.共三套樣品架:分別為柱狀樣品架、盤(pán)狀樣品架和球狀樣品架;

5.樣品具有自轉和公轉功能,通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封;

6.要求每個(gè)樣品相MEVVA源和脈沖磁過(guò)濾等離子源都有定位和轉動(dòng)功能;

7.要求樣品架與地絕緣,耐壓值≥1KV;

8.樣品需要加熱,溫度為:室溫—400℃,溫度可調可控;

9.設計系統具有斷水報警,切斷相應電源功能。

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產(chǎn)品展示

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