DLC沉積注入系統
一、系統技術(shù)指標：
1、真空系統：
1.1、采用真空泵作為真空獲得系統，由兩級泵設計，分別為北京信誠智尚4200/s分子泵+ TRP-90北京優(yōu)成機械泵；
1.2、真空腔的極限真空度要求優(yōu)于1.0×10-4Pa；泄露小于6.7×10-7PaL/S；
要求從大氣到1.0x10-3Pa時(shí)間優(yōu)于30分鐘；
1.3、真空機組由甲方采購。
2、真空腔體：
2.1、主體：壁厚6mm，材質(zhì)為304不銹鋼，內腔凈尺寸Ф600X500mm圓柱水冷真空室；
2.2、腔體進(jìn)行拋光處理和應力處理，保證3年內真空室主體無(wú)變形，無(wú)泄露；
2.3 要求真空室與地絕緣。
3、MEVVA源：
3.1、 要求MEVVA源與真空室絕緣；
3.2、 要求MEVVA源與真空室通過(guò)氣動(dòng)閥連接；
3.3、MEVVA源由甲方自備。
4、脈沖磁過(guò)濾等離子源：
4.1、要求脈沖磁過(guò)濾等離子源與真空室絕緣；
4.2、脈沖磁過(guò)濾等離子源由甲方自備。
5、工件架：
5.1、共三種樣品架；分別為柱狀樣品架、盤(pán)狀樣品架和球狀樣品架，每種樣品架加工兩套；；
5.2、樣品架每次可安裝8個(gè)樣品，樣品與樣品直徑的距離100mm，離源口最近的樣品與源口
的距離為100mm；
5.3、樣品具有自轉和公轉功能，并且帶有剎車(chē)裝置，通過(guò)雙芯磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封；
5.4、要求每個(gè)樣品相MEVVA源和脈沖磁過(guò)濾等離子源都有定位和轉動(dòng)功能；
5.5、要求樣品架與地絕緣，耐壓值≥1KV。
6、設計系統具有有斷水報警，切斷相應電源功能。
二、系統組成：
該系統主要由真空抽氣及真空測量系統、真空室系統、工件架系統、源MEVVA源系統、脈沖磁過(guò)濾等離子系統、紅外測溫系統、電器控制系統、輔助系統等組成。
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