產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
YJ-Ⅰ 真空陰極轉移系統
所屬分類(lèi)
陰極制備設備
產(chǎn)品描述
參數
一、主要用途:
用于半導體行業(yè)陰極的制備與封接。
二、技術(shù)指標:
1.極限真空度:6.67×10-7Pa;
2.烘烤溫度:陰極室烘烤300℃;壓封室烘烤300℃;管殼室烘烤400℃;
3.尺寸:陰極室Φ150×200(mm);壓封室Φ150×300(mm);管殼室Φ100×250(mm)。
三、系統組成:
主要由陰極室系統、壓封室系統、管殼室系統、樣品傳遞機構系統、加壓機構系統、內外烘烤及照明系統等組成。
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YJ-Ⅲ 變像轉移陰極及銦封制作系統
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