產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
YJ-Ⅲ 變像轉移陰極及銦封制作系統
所屬分類(lèi)
陰極制備設備
產(chǎn)品描述
參數
一、系統用途:
制備近貼管和條紋管。
二、技術(shù)指標:
1. 可制作近貼管(Φ85×50)和條紋管(Φ85×380),不同時(shí)進(jìn)行;
2. 真空系統極限真空度:6.7×10-8Pa;
3. 真空系統烘烤溫度:400ºC,程序控溫,采用烘箱烘烤,電動(dòng)雙升降結構;
4. 烘箱外管道烘烤溫度:250ºC;(烘烤帶烘烤,直接插入220V電源插座)
5. 兩套樣品交接:一套在陰極制備室,兩維運動(dòng);一套在銦封室,傳遞桿自由度:X、Y、Z擺動(dòng),360º旋轉四維,各自由度必須滿(mǎn)足樣品交接,傳遞銦封和定位要求;
6. 銦封室和制備室之間采用耐烘烤高溫擋板閥連接;
7. 所有窗口均采用石英玻璃封接而成。
三、系統組成:
真空抽氣系統、真空測量系統、陰極制備室系統、陰極制備室內烘烤加熱及控制系統、臺架系統、電控系統、電動(dòng)雙升降系統、樣品傳遞系統等組成。
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