YJ-Ⅱ 陰極轉移及銦封制作真空系統
一、系統用途:
制備各種光學(xué)管。
二、技術(shù)指標:
1.可制作光學(xué)管(Φ110×(30mm~50mm);陰極(Φ70~Φ80mm);
2.真空系統極限真空度(空載):(1-3)×10-8Pa;
3.真空系統烘烤溫度:400℃,程序控溫,采用烘箱烘烤,電動(dòng)雙升降結構;
4.烘箱外管道烘烤溫度:180℃(烘烤帶烘烤,直接插入220V電源插座);
5.兩套樣品交接:一套在鋼封室,一維直線(xiàn)運動(dòng);一套在陰極室,傳遞桿自由度:X方向移動(dòng)、Z方向360°旋轉四維,各自由度必須滿(mǎn)足樣品交接,傳遞銦封和定位要求;
6. 銦封室右側配有高壓六芯電極引線(xiàn),石英窗和銦封室加熱電極引線(xiàn)法蘭;
7. 所有窗口均采用石英玻璃封接而成。
三、系統組成:
真空抽氣及真空測量系統、陰極制備室系統、陰極制備室內烘烤加熱及控制系統、銦封室系統、銦封室內烘烤加熱及控制系統、烘箱、烘箱烘烤加熱及控制系統、臺架系統、電控系統、電動(dòng)雙升降系統、樣品傳遞系統等組成。
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