YJ-Ⅱ 陰極轉移及銦封制作真空系統
一、系統用途：
制備各種光學(xué)管。
二、技術(shù)指標：
1．可制作光學(xué)管(Φ110×(30mm～50mm)；陰極(Φ70～Φ80mm)；
2．真空系統極限真空度(空載)：(1-3)×10-8Pa；
3．真空系統烘烤溫度：400℃，程序控溫，采用烘箱烘烤，電動(dòng)雙升降結構；
4．烘箱外管道烘烤溫度：180℃(烘烤帶烘烤，直接插入220V電源插座)；
5．兩套樣品交接：一套在鋼封室，一維直線(xiàn)運動(dòng)；一套在陰極室，傳遞桿自由度：X方向移動(dòng)、Z方向360°旋轉四維，各自由度必須滿(mǎn)足樣品交接，傳遞銦封和定位要求；
6. 銦封室右側配有高壓六芯電極引線(xiàn)，石英窗和銦封室加熱電極引線(xiàn)法蘭；
7. 所有窗口均采用石英玻璃封接而成。
三、系統組成：
真空抽氣及真空測量系統、陰極制備室系統、陰極制備室內烘烤加熱及控制系統、銦封室系統、銦封室內烘烤加熱及控制系統、烘箱、烘箱烘烤加熱及控制系統、臺架系統、電控系統、電動(dòng)雙升降系統、樣品傳遞系統等組成。
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