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238

三工位陰極轉移系統

所屬分類(lèi)
陰極制備設備
主要技術(shù)指標:工作真空度設備底板處測量:工作真空度優(yōu)于5×10-5Pa;鐘罩頂部測量:工作真空度優(yōu)于8×10-5?Pa;極限真空度設備底板處測量:極限真空度優(yōu)于5×10-6Pa;鐘罩頂部測量:極限真空度優(yōu)于8×10-6Pa;烘烤溫度范圍室溫-400℃;升溫速率180min內由常溫升至400℃;溫度均勻性±2.5℃;MCP腔室擋板MCP腔室擋板關(guān)閉時(shí),與地板間距≤1mm;MCP局部加熱溫度范圍室溫-
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產(chǎn)品描述
參數

主要技術(shù)指標:

工作真空度

設備底板處測量:工作真空度優(yōu)于5×10-5Pa;

鐘罩頂部測量:工作真空度優(yōu)于8×10-5 Pa;

極限真空度

設備底板處測量:極限真空度優(yōu)于5×10-6Pa;

鐘罩頂部測量:極限真空度優(yōu)于8×10-6Pa;

烘烤溫度范圍

室溫-400℃;

升溫速率

180 min內由常溫升至400℃;

溫度均勻性

±2.5℃;

MCP腔室擋板

MCP腔室擋板關(guān)閉時(shí),與地板間距≤1mm;

MCP局部加熱溫度范圍

室溫-200℃;

MCP局部加熱溫度升溫速率

升溫速度大于15℃/min;

鐘罩表面溫度

不超過(guò)50℃。

 

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