產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
金屬有機化學(xué)氣相沉積系統
所屬分類(lèi)
化學(xué)氣相沉積設備 （CVD）
產(chǎn)品描述
參數
一、主要用途：
金屬有機化學(xué)氣相沉積系統主要用于金屬氫化物薄膜的制備。
二、技術(shù)指標：
1. 尺寸：真空室直徑約400mm，高度約450mm，材料：不銹鋼；
2. 真空度：背景真空8.0×10-6Pa，漏率為：1.0×10-7PaL/s；
3．真空室壓力調節范圍0.1Pa～500Pa，精度±1％； 等離子體產(chǎn)生方式為RF射頻電感耦合放電，頻率13.56MHz，功率0～500W連續可調；
4. 襯底可以旋轉和控溫，旋轉速率0～60rpm連續可調，旋轉平穩度好，最高溫度800℃，控溫精度±1K，襯底盤(pán)直徑80mm，在軸線(xiàn)方向位 置可調，距離真空室頂部50mm～150mm；
5. 烘烤照明：采用碘鎢燈加熱烘烤方式，對真空室進(jìn)行烘烤除氣，也可以當作照明用，加熱溫度為室溫至200度，程序控溫；
6. MO蒸氣采用兩處進(jìn)氣的方式，其一，從等離子體產(chǎn)生室頂部進(jìn)氣，其出口在石英腔中的位置可以調整，其二，從真空室側面進(jìn)氣送入等離子體區域離化反應。
三、系統組成：
主要由配氣系統、真空室及真空系統、控制系統三部分組成。
掃二維碼用手機看
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
上一個(gè)
微波等離子體（BEH2,BED2制備系統）
下一個(gè)
小型MOCVD低溫鍍膜設備
產(chǎn)品展示
總 機：024-23758583
傳 真：024-89422961
總經(jīng)理電話(huà)：13804984297/024-23758583-607
市 場(chǎng) 部（售后服務(wù)）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈陽(yáng)市蘇家屯區大淑堡瑰香街83-5號
Copyright ? 2022 沈陽(yáng)騰鰲真空技術(shù)有限公司 All Rights Reserved
遼ICP備15018801號 網(wǎng)站建設：中企動(dòng)力 沈陽(yáng) SEO標簽
手機二維碼
024-23758583
在線(xiàn)留言 