產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
微波等離子體系統
所屬分類(lèi)
化學(xué)氣相沉積設備 (CVD)
產(chǎn)品描述
參數
一、主要用途:
用于制備納米碳管。
二、技術(shù)指標:
1. 極限真空度:≤6×10-4 Pa(冷態(tài)空載),真空漏率:5×10-7 PaL/S;
2. 石英管尺寸:Φ100(內徑)×500(mm),壁厚3mm~5mm,溫度區150mm;
3. 石英管式爐內:有圓柱形碳纖維保溫套,爐套內有大圓環(huán)形石墨坩堝,其內放置小的石墨坩堝,石墨坩堝內放置樣品;
4. 感應加熱:射頻:50±30KHz;加熱2200℃/15分鐘,最高加熱2200℃;全固態(tài)高頻感應電源,功率10~15KW;線(xiàn)圈紫銅管尺寸:Φ10×1,紫銅管螺旋而成,內徑:Φ120×150(mm),通冷卻水;
5. 氣路系統:3路質(zhì)量流量計控制,范圍:一路0~3升/分鐘,一路0~5升/分鐘,一路0~200SCCM。
三、系統組成:
系統主要由真空抽氣及測量系統、測溫系統、石英加熱爐系統、感應加熱系統、氣路系統、電控及輔助系統等組成。出氣系統、微波源外罩系統、氣體流量控制系統、電控系統及輔助系統組成。
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產(chǎn)品展示

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