服務(wù)熱線(xiàn):

產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
267

微波等離子體系統

一、主要用途:??用于制備納米碳管。二、技術(shù)指標:1.極限真空度:≤6×10-4Pa(冷態(tài)空載),真空漏率:5×10-7PaL/S;2.石英管尺寸:Φ100(內徑)×500(mm),壁厚3mm~5mm,溫度區150mm;3.石英管式爐內:有圓柱形碳纖維保溫套,爐套內有大圓環(huán)形石墨坩堝,其內放置小的石墨坩堝,石墨坩堝內放置樣品;4.感應加熱:射頻:50±30KHz;加熱2200℃/15分鐘,最高加熱
267
產(chǎn)品描述
參數
一、主要用途:
    用于制備納米碳管。
二、技術(shù)指標:
1. 極限真空度:≤6×10-4 Pa(冷態(tài)空載),真空漏率:5×10-7 PaL/S;
2. 石英管尺寸:Φ100(內徑)×500(mm),壁厚3mm~5mm,溫度區150mm;
3. 石英管式爐內:有圓柱形碳纖維保溫套,爐套內有大圓環(huán)形石墨坩堝,其內放置小的石墨坩堝,石墨坩堝內放置樣品;
4. 感應加熱:射頻:50±30KHz;加熱2200℃/15分鐘,最高加熱2200℃;全固態(tài)高頻感應電源,功率10~15KW;線(xiàn)圈紫銅管尺寸:Φ10×1,紫銅管螺旋而成,內徑:Φ120×150(mm),通冷卻水;
5. 氣路系統:3路質(zhì)量流量計控制,范圍:一路0~3升/分鐘,一路0~5升/分鐘,一路0~200SCCM。
三、系統組成:
    系統主要由真空抽氣及測量系統、測溫系統、石英加熱爐系統、感應加熱系統、氣路系統、電控及輔助系統等組成。出氣系統、微波源外罩系統、氣體流量控制系統、電控系統及輔助系統組成。
掃二維碼用手機看
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
下一個(gè)

產(chǎn)品展示

高溫化學(xué)氣相沉積系統
更多 白箭頭 黑箭頭
磁控濺射真空室
更多 白箭頭 黑箭頭
微小靶腔常溫檢漏裝置
更多 白箭頭 黑箭頭
相容性試驗系統
更多 白箭頭 黑箭頭

Copyright ? 2022 沈陽(yáng)騰鰲真空技術(shù)有限公司 All Rights Reserved

img

手機二維碼

黄片无码在线观看_亚洲AV无码专区A片波霸影院_性爱AV在线_成人播放器