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微波等離子體系統

一、主要用途：??用于制備納米碳管。二、技術(shù)指標：1.極限真空度：≤6×10-4Pa（冷態(tài)空載），真空漏率：5×10-7PaL/S；2.石英管尺寸：Φ100(內徑)×500（mm）,壁厚3mm～5mm，溫度區150mm；3.石英管式爐內：有圓柱形碳纖維保溫套，爐套內有大圓環(huán)形石墨坩堝，其內放置小的石墨坩堝，石墨坩堝內放置樣品；4.感應加熱：射頻：50±30KHz；加熱2200℃/15分鐘，最高加熱
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產(chǎn)品描述
參數
一、主要用途：
    用于制備納米碳管。
二、技術(shù)指標：
1. 極限真空度：≤6×10-4 Pa（冷態(tài)空載），真空漏率：5×10-7 PaL/S；
2. 石英管尺寸：Φ100(內徑)×500（mm）,壁厚3mm～5mm，溫度區150mm；
3. 石英管式爐內：有圓柱形碳纖維保溫套，爐套內有大圓環(huán)形石墨坩堝，其內放置小的石墨坩堝，石墨坩堝內放置樣品；
4. 感應加熱：射頻：50±30KHz；加熱2200℃/15分鐘，最高加熱2200℃；全固態(tài)高頻感應電源，功率10～15KW；線(xiàn)圈紫銅管尺寸：Φ10×1，紫銅管螺旋而成，內徑：Φ120×150（mm）,通冷卻水；
5. 氣路系統：3路質(zhì)量流量計控制，范圍：一路0～3升/分鐘，一路0～5升/分鐘，一路0～200SCCM。
三、系統組成：
    系統主要由真空抽氣及測量系統、測溫系統、石英加熱爐系統、感應加熱系統、氣路系統、電控及輔助系統等組成。出氣系統、微波源外罩系統、氣體流量控制系統、電控系統及輔助系統組成。
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