產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
光耦合場(chǎng)發(fā)射測試臺
所屬分類(lèi)
分析測試設備
產(chǎn)品描述
參數
一、技術(shù)指標:
1、采用單室結構,不銹鋼材料,球形結構;
2、空載情況:極限真空優(yōu)于8×10-7Pa,真空度優(yōu)于1×10-5Pa;安裝三維可動(dòng)載物臺時(shí),和光纖饋入法蘭時(shí),真空度優(yōu)于5×10-4Pa;
系統漏率為:1×10-8PaL/s(無(wú)氧銅密封情況下);
3、高壓探針:腔內設置有高壓探針,且高壓探針與樣品之間間距可調;
4、電極法蘭盤(pán):數量:1個(gè),規格:10針;另設置CF63高壓電極法蘭,2芯,高壓電極可耐壓>5000V;
5、激光引入方式:要求同時(shí)配備兩種引入方式:I.通過(guò)有光纖接口的法蘭;II.通過(guò)石英光學(xué)窗;
二、系統組成:
該系統主要由真空室、真空抽氣及測量系統、樣品臺系統、窗口與法蘭組件系統、烘烤照明系統、電控系統、輔助系統等部分組成。
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上一個(gè)
質(zhì)譜監測真空裝置試制
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電弧特性實(shí)驗研究用真空腔體及系統
產(chǎn)品展示

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