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產(chǎn)品介紹
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光耦合場(chǎng)發(fā)射測試臺

所屬分類(lèi)
分析測試設備
一、設備用途：用于各種材料和微納米結構的場(chǎng)發(fā)射性能測試。二、設備主要技術(shù)指標：1、采用單室結構，不銹鋼材料，球形結構；2、空載情況：極限真空優(yōu)于8×10-7?Pa，真空度優(yōu)于1×10-5?Pa；安裝三維可動(dòng)載物臺時(shí)，和光纖饋入法蘭時(shí)，真空度優(yōu)于5×10-4?Pa；??系統漏率為：1×10-8PaL/s（無(wú)氧銅密封情況下）；3、腔內載物臺：數量：1個(gè)，樣品最大尺寸為5cm×5cm，要求三維可動(dòng)，XY
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產(chǎn)品描述
參數

一、技術(shù)指標：

1、采用單室結構，不銹鋼材料，球形結構；

2、空載情況：極限真空優(yōu)于8×10-7Pa，真空度優(yōu)于1×10-5Pa；安裝三維可動(dòng)載物臺時(shí)，和光纖饋入法蘭時(shí)，真空度優(yōu)于5×10-4Pa；

  系統漏率為：1×10-8PaL/s（無(wú)氧銅密封情況下）；                 

3、高壓探針：腔內設置有高壓探針，且高壓探針與樣品之間間距可調；

4、電極法蘭盤(pán)：數量：1個(gè)，規格：10針；另設置CF63高壓電極法蘭，2芯，高壓電極可耐壓>5000V；

5、激光引入方式：要求同時(shí)配備兩種引入方式：I.通過(guò)有光纖接口的法蘭；II.通過(guò)石英光學(xué)窗；

二、系統組成：

該系統主要由真空室、真空抽氣及測量系統、樣品臺系統、窗口與法蘭組件系統、烘烤照明系統、電控系統、輔助系統等部分組成。

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產(chǎn)品展示

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