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產(chǎn)品介紹
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光耦合場(chǎng)發(fā)射測試臺

所屬分類(lèi)
分析測試設備
一、設備用途:用于各種材料和微納米結構的場(chǎng)發(fā)射性能測試。二、設備主要技術(shù)指標:1、采用單室結構,不銹鋼材料,球形結構;2、空載情況:極限真空優(yōu)于8×10-7?Pa,真空度優(yōu)于1×10-5?Pa;安裝三維可動(dòng)載物臺時(shí),和光纖饋入法蘭時(shí),真空度優(yōu)于5×10-4?Pa;??系統漏率為:1×10-8PaL/s(無(wú)氧銅密封情況下);3、腔內載物臺:數量:1個(gè),樣品最大尺寸為5cm×5cm,要求三維可動(dòng),XY
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產(chǎn)品描述
參數

一、技術(shù)指標:

1、采用單室結構,不銹鋼材料,球形結構;

2、空載情況:極限真空優(yōu)于8×10-7Pa,真空度優(yōu)于1×10-5Pa;安裝三維可動(dòng)載物臺時(shí),和光纖饋入法蘭時(shí),真空度優(yōu)于5×10-4Pa;

  系統漏率為:1×10-8PaL/s(無(wú)氧銅密封情況下);                 

3、高壓探針:腔內設置有高壓探針,且高壓探針與樣品之間間距可調;

4、電極法蘭盤(pán):數量:1個(gè),規格:10針;另設置CF63高壓電極法蘭,2芯,高壓電極可耐壓>5000V;

5、激光引入方式:要求同時(shí)配備兩種引入方式:I.通過(guò)有光纖接口的法蘭;II.通過(guò)石英光學(xué)窗;

二、系統組成:

該系統主要由真空室、真空抽氣及測量系統、樣品臺系統、窗口與法蘭組件系統、烘烤照明系統、電控系統、輔助系統等部分組成。

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產(chǎn)品展示

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