產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數
射頻電源：功率：1kW，頻率13.56MHz。真空室改造：
真空度：由1×10~Pa提高到5×10~Pa；
加工速率：由<100nm/min提高到>500nm/min（以硅為基片材料）偏壓射頻電源功率：500W，頻率13.56MHz。微波源功率：1kW，頻率2.45GHz。
刻蝕均勻性：由原基片中心與邊緣的差值較大改善為小于5%。
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產(chǎn)品展示
總 機：024-23758583
傳 真：024-89422961
總經(jīng)理電話(huà)：13804984297/024-23758583-607
市 場(chǎng) 部（售后服務(wù)）：024-23758583-610 13840375510
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