超高真空系統
一、技術(shù)指標
1、系統真空度：極限真空度≤2×10-8Pa，機械手磁力桿傳動(dòng)時(shí)真空度優(yōu)于6×10-8Pa。
2、真空室：采用球型不銹鋼結構，316L，內徑尺寸為：Φ300mm。
3、系統漏率≤1×10-7Pa·L/S。
4、真空室：采用飛碟形（UFO）不銹鋼結構，316L，外形尺寸為：Φ800×360mm。
5、真空室：采用球形不銹鋼結構，316L，尺寸為：內徑SΦ300mm。
6、氣路系統：
6.1、氣固室、低溫紅外室、ESEM有供氣需求，需采用一套統一的配供氣系統（可實(shí)現3種氣體的配置），實(shí)現對各反應室供氣，進(jìn)氣流量可實(shí)現0 ～50sccm。
6.2、與真空室連接的閥門(mén)均為VAT超高真空全金屬手動(dòng)角閥。
7、各子系統采用獨立的真空抽氣系統，互不干涉，獨立的支撐臺架，可隨時(shí)移動(dòng)分開(kāi)。
二、設備組成
本系統為多室結構的超高真空系統，該設備主要由預制室系統、UFO真空室系統、氣固反應室系統、樣品傳遞與交接系統、CCD觀(guān)察系統、氣路系統、電控及計算機控制系統、輔助系統等組成。
產(chǎn)品展示
總 機：024-23758583
傳 真：024-89422961
總經(jīng)理電話(huà)：13804984297/024-23758583-607
市 場(chǎng) 部（售后服務(wù)）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈陽(yáng)市蘇家屯區大淑堡瑰香街83-5號
Copyright ? 2022 沈陽(yáng)騰鰲真空技術(shù)有限公司 All Rights Reserved
遼ICP備15018801號 網(wǎng)站建設：中企動(dòng)力 沈陽(yáng) SEO標簽
手機二維碼
024-23758583
在線(xiàn)留言 