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產(chǎn)品介紹
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超高真空系統

所屬分類(lèi)
用戶(hù)定制設備
主要技術(shù)性能指標:1、總體結構:1.1、整套系統主要由手套箱(綜合熱分析儀、LIBS、進(jìn)樣室)系統(不在此次方案中)、過(guò)渡倉系統(不在此次方案中)、預制室系統、ESEM系統(不在此次方案中)、UFO系統、低溫真空紅外系統(不在此次方案中,但要預留抽氣接口法蘭)、氣固室系統、樣品傳遞交接系統、氣路系統、電氣控制以及計算機采集控制系統等組成。1.2、整套超高真空系統,包括各種接口、閥門(mén)等,全部使用全金
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產(chǎn)品描述
參數

一、技術(shù)指標

1、系統真空度:極限真空度≤2×10-8Pa,機械手磁力桿傳動(dòng)時(shí)真空度優(yōu)于6×10-8Pa。

2、真空室:采用球型不銹鋼結構,316L,內徑尺寸為:Φ300mm。

3、系統漏率≤1×10-7Pa·L/S。

4、真空室:采用飛碟形(UFO)不銹鋼結構,316L,外形尺寸為:Φ800×360mm。

5、真空室:采用球形不銹鋼結構,316L,尺寸為:內徑SΦ300mm。

6、氣路系統:

6.1、氣固室、低溫紅外室、ESEM有供氣需求,需采用一套統一的配供氣系統(可實(shí)現3種氣體的配置),實(shí)現對各反應室供氣,進(jìn)氣流量可實(shí)現0 50sccm。

6.2、與真空室連接的閥門(mén)均為VAT超高真空全金屬手動(dòng)角閥。

7、各子系統采用獨立的真空抽氣系統,互不干涉,獨立的支撐臺架,可隨時(shí)移動(dòng)分開(kāi)。

二、設備組成

本系統為多室結構的超高真空系統,該設備主要由預制室系統、UFO真空室系統、氣固反應室系統、樣品傳遞與交接系統、CCD觀(guān)察系統、氣路系統、電控及計算機控制系統、輔助系統等組成。

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