超高真空系統
一、技術(shù)指標
1、系統真空度:極限真空度≤2×10-8Pa,機械手磁力桿傳動(dòng)時(shí)真空度優(yōu)于6×10-8Pa。
2、真空室:采用球型不銹鋼結構,316L,內徑尺寸為:Φ300mm。
3、系統漏率≤1×10-7Pa·L/S。
4、真空室:采用飛碟形(UFO)不銹鋼結構,316L,外形尺寸為:Φ800×360mm。
5、真空室:采用球形不銹鋼結構,316L,尺寸為:內徑SΦ300mm。
6、氣路系統:
6.1、氣固室、低溫紅外室、ESEM有供氣需求,需采用一套統一的配供氣系統(可實(shí)現3種氣體的配置),實(shí)現對各反應室供氣,進(jìn)氣流量可實(shí)現0 ~50sccm。
6.2、與真空室連接的閥門(mén)均為VAT超高真空全金屬手動(dòng)角閥。
7、各子系統采用獨立的真空抽氣系統,互不干涉,獨立的支撐臺架,可隨時(shí)移動(dòng)分開(kāi)。
二、設備組成
本系統為多室結構的超高真空系統,該設備主要由預制室系統、UFO真空室系統、氣固反應室系統、樣品傳遞與交接系統、CCD觀(guān)察系統、氣路系統、電控及計算機控制系統、輔助系統等組成。
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