技術(shù)要求及指標：1、真空系統：1.1、系統極限真空度優(yōu)于2.0×10-4Pa，系統漏率優(yōu)于6.7×10-7Pa·L/s；1.2、分子泵正常工作20分鐘后，真空度要求達到：3×10-3Pa；2、真空腔體：2.1、內腔凈尺寸SФ600球型真空室，材質(zhì)為304不銹鋼（帶水冷）；2.2、前開(kāi)門(mén)結構，方便取放樣品；3、MEVVA源（共兩套）；4、脈沖磁過(guò)濾等離子源（共三套）；5、工件架：5.1、共有一套樣品架，樣品為葉片樣品，一次只安裝一個(gè)；?5.2、樣品具有自轉功能，通過(guò)磁流體進(jìn)行傳動(dòng)和密封，自轉速度：0～200轉/分，伺服電機控制；?5.3、樣品需要加熱，樣品對面和底部有鎧裝加熱盤(pán)，程序控溫，PID調節。6、氣路系統：三路進(jìn)氣，采用質(zhì)量流量控制器控制。7、設計系統具有斷水報警，切斷相應電源功能。8、系統帶有計算機控制系統，主要控制：8.1、真空度的采集；8.2、樣品的自轉控制；8.3、樣品的加熱控制；8.4、氣體流量的采集和控制；8.5、泵、閥門(mén)的控制等；8.6、弧源、偏轉電源、偏壓電源、弧頭磁場(chǎng)電源、MEVVA源電源和靶負壓電源的供電控制；8.7、系統具有樣品超溫、斷水報警保護功能。