主要技術(shù)指標：1、真空抽氣系統：系統極限真空度能達到1Pa以下；當僅機械泵工作時(shí)，極限真空度小于5Pa；采用兩套真空機組作為真空抽氣系統，可單獨控制壓力，兩個(gè)管道相互隔離。抽氣能力達到600L/S以上；2、加熱控制系統：基帶加熱溫度小于850℃；加熱區分為升溫、保溫及降溫區；溫度控制精度為±1℃；保溫區沿走帶方向不大于±3℃溫度偏差；測溫模塊方便測量腔室空間內實(shí)際溫度；在使用保溫工藝時(shí)總功率不大于40KW；3、基帶收、放系統：卷繞系統分為兩種模式：兩套模式各自單獨控制，運動(dòng)過(guò)程中相互不干涉。卷對卷系統張力穩定可控，可實(shí)現小于1Kg張力的穩定控制；卷對卷保證穩定不跑偏，實(shí)現1000米順利走帶。4、氣氛系統：系統工作壓力為20Pa～1KPa；系統工作壓力采用手動(dòng)調節電動(dòng)碟閥開(kāi)合位置來(lái)控制；工作氣氛：分為干式、濕式兩種；5、設備采用計算機作為人機界面對加熱系統、走帶系統、真空系統等進(jìn)行手動(dòng)遠程控制；6、設備帶有斷水斷電以及誤操作聯(lián)鎖保護裝置；7、設備帶有安全防護系統。