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產(chǎn)品介紹
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離子注入實(shí)驗系統

所屬分類(lèi)
等離子體研究設備
系統漏率、真空度技術(shù)指標及參數: 系統整體漏率≤1×10-7Pa?L/s。 系統工作真空度要求分別為: 真空配氣系統工作真空度(室溫)要求≤ 1×10e-6Pa,除氣時(shí)間≤24h; 樣品傳送回收系統工作真空度要求≤5×10e-4Pa,除氣時(shí)間≤3h; 真空靶室系統工作真空度(室溫)要求≤1×10e-6Pa,除氣時(shí)間≤24h; 分子泵機組系統工作真空度要求≤ 5×10e-4Pa,除氣時(shí)間≤3h。
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產(chǎn)品描述
參數

一、技術(shù)指標:

系統整體漏率≤1×10-7Pa•L/s。

系統工作真空度要求分別為:

真空配氣系統工作真空度(室溫)要求≤ 1×10-6Pa,除氣時(shí)間≤24h;

樣品傳送回收系統工作真空度要求≤5×10-4Pa,除氣時(shí)間≤3h;

真空靶室系統工作真空度(室溫)要求≤1×10-6Pa,除氣時(shí)間≤24h;

分子泵機組系統工作真空度要求≤ 5×10-4Pa,除氣時(shí)間≤3h。

二、系統組成:

離子注入實(shí)驗系統主要由真空配氣系統、樣品傳送回收系統、真空靶室系統、分子泵機組系統、外部支撐臺架系統、電控系統及輔助系統等組成。

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