產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數
(一)設備用途：
該設備主要用于檢測高溫環(huán)境對質(zhì)譜計探頭的影響。
(二)技術(shù)指標：
1、真空室極限真空度≤5×10-4Pa；工作真空度≤1.0×10-3Pa；
靜態(tài)壓升率：0.10 Pa/h；系統漏率：5×10-7Pa·L/S；
真空機組采用國產(chǎn)分子泵+國產(chǎn)機械泵抽氣系統。
2、采用臥式雙層水冷真空室，左右兩側水冷法蘭可移動(dòng)，方便操作，不銹鋼材料和真空材料，真空室與法蘭進(jìn)出水接口均為ZG1/2錐管螺紋。
2.1、真空室采用雙層水冷結構，固定安裝在支撐臺架上；
2.2、左右兩側法蘭采用雙側水冷結構，采用鉸鏈手輪式密封結構；
2.3、采用外置直線(xiàn)導軌方式，作為左側質(zhì)譜計法蘭和右側電極法蘭的平移支撐結構；
3、右側電極水冷法蘭上安裝有三個(gè)銅電極板；
4、電極接口保證電流通暢；
5、銅電極板之間用不銹鋼管替代鉭管、不銹鋼屏蔽板替代鉭屏蔽板，并且需要與真空室上方質(zhì)譜計接口對正；
6、需要做一套校正組件進(jìn)行調試；
7、設備支撐臺架采用碳鋼型材焊接而成，支撐臺架的臺面采用碳鋼板；
8、設備冷卻水路需要試驗水壓力。
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三對雙通道軟X射線(xiàn)單色器
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