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產(chǎn)品介紹
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檢漏用管路組裝及真空加工

所屬分類(lèi)
分析測試設備
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產(chǎn)品描述
參數
 
1、主體結構:
本設備主體設計為石英鐘罩真空腔室結構。石英鐘罩腔室底部設置不銹鋼底法蘭,并設置多個(gè)法蘭接口,是真空抽氣、系統進(jìn)氣、真空測量和系統壓力測量等部件的安裝接口。
2、系統真空度及漏率:
極限真空度:≤5×10-3 Pa;系統正壓:最高0.2MPa(絕壓);系統真空漏率:優(yōu)于5×10-7 Pa.L/s。
3、真空抽氣及測量:
4、氣路:
工藝氣體一路,配置質(zhì)量流量控制器、單通道質(zhì)量流量計、氣路截止閥和氣路管、接頭等。
5、樣品。
6、配置電器控制系統一套,為系統各部分供電。
 
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