產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數
1、主體結構：
本設備主體設計為石英鐘罩真空腔室結構。石英鐘罩腔室底部設置不銹鋼底法蘭，并設置多個(gè)法蘭接口，是真空抽氣、系統進(jìn)氣、真空測量和系統壓力測量等部件的安裝接口。
2、系統真空度及漏率：
極限真空度：≤5×10-3 Pa；系統正壓：最高0.2MPa（絕壓）；系統真空漏率：優(yōu)于5×10-7 Pa.L/s。
3、真空抽氣及測量：
4、氣路：
工藝氣體一路，配置質(zhì)量流量控制器、單通道質(zhì)量流量計、氣路截止閥和氣路管、接頭等。
5、樣品。
6、配置電器控制系統一套，為系統各部分供電。
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真空沿面閃絡(luò )實(shí)驗測試平臺
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三對雙通道軟X射線(xiàn)單色器
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傳 真：024-89422961
總經(jīng)理電話(huà)：13804984297/024-23758583-607
市 場(chǎng) 部（售后服務(wù)）：024-23758583-610 13840375510
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