產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數
1、極限真空度優(yōu)于6.7×10~Pa；
2、在2小時(shí)內從大氣抽到5×10~Pa（充入干燥氮氣，不打開(kāi)真空室）；
3、系統漏率小于1×10*7PaL/s。
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磁控濺射涂層裝置
產(chǎn)品展示
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傳 真：024-89422961
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