一、用途 用于制作具有抗弛豫膜層的堿金屬原子池，這是可實(shí)用化量子網(wǎng)絡(luò )、量子計算、量子精密測量的基本原器件。 二、技術(shù)指標 1、真空抽氣及測量系統： 1.1、極限真空度：5.0×10-6 Pa。 1.2、系統漏率≤1.0×10-8 Pa·L/s。 1.3、真空抽氣機組： 采用分子泵+無(wú)油干泵組成真空機組，配有閥門(mén)、管道、真空計等組成真空抽氣系統與測量系統。 2、玻璃池系統： 玻璃池上有2個(gè)接口，1個(gè)與真空充堿金屬系統相連，另1個(gè)由甲方提前熔融密封。 3、真空室系統： 4、烘箱系統： 5、氣路： 系統共有4路進(jìn)氣，1路進(jìn)有機源、1路進(jìn)銫源、1路進(jìn)氖氣、1路進(jìn)氮氣；有機源與銫源需要加熱，最高加熱溫度405℃，不需要載氣（甲方的工藝要求）；氖氣和氮氣分別通過(guò)質(zhì)量流量器控制進(jìn)入玻璃池，范圍0～200sccm，在進(jìn)氣管道上安裝薄膜壓力規。 6、系統具有漏電、漏氣保護功能，具有斷水報警，切斷相應電源功能。 7、系統帶有計算機控制系統。