技術(shù)要求及指標 1、分子泵抽真空系統： 1.1、極限真空度：極限真空度優(yōu)于8Pa。 1.2、漏率：優(yōu)于2.0×10-7 Pa.l/s。 1.3、分子泵抽真空系統（國產(chǎn)分子泵+國產(chǎn)干泵）一套，為系統抽真空。系統備有預抽裝置和充氣裝置。預抽裝置可與前級泵連接，帶有預抽閥門(mén)。 1.4、真空測量：采用數顯復合真空計實(shí)時(shí)測量，帶數字顯示。 2、真空室系統： 2.1、立式圓筒型結構：內尺寸：直徑Φ1000 mm，高620 mm；?? ? 2.2、統整體漏率：優(yōu)于2.0×10-7 Pa·L/s； 2.3、真空室罐體側面帶有開(kāi)門(mén)結構，用于更換樣品； 2.4、可視窗口：4個(gè)，前后左右方向,間隔角度為90度，窗口材料為石英玻璃，總體參數： 3、光學(xué)隔振平臺系統 4、電控位移臺及控制器(數量：1套) 一組用于承載實(shí)驗樣品的四維電控位移臺在真空靶室內正常運行。 5、真空室及面包板分別配置金屬支架。 6、配置電控系統，具備斷電報警及聯(lián)鎖保護功能。