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產(chǎn)品介紹
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TA21-17D

線(xiàn)性等離子體裝置真空系統

所屬分類(lèi)
等離子體研究設備
TA21-17D
產(chǎn)品描述
參數

主要技術(shù)指標:
1)等離子體源;
2)磁場(chǎng)線(xiàn)圈系統;
3)真空系統:主腔室長(cháng)度約為2.62米,分為等離子體源室、輔助加熱室和靶室三部分。同時(shí)包含一個(gè)材料分析與交換室與靶室連接。采用科學(xué)、合理的真空抽氣泵組,提供所需真空環(huán)境;
4)電源系統;
5)冷卻系統;
6)其它:診斷系統、輔助加熱系統等。

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