產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數
1、真空抽氣及測量系統
1.1、系統極限真空度優(yōu)于 5.0X10-5Pa，系統漏率優(yōu)于 1.0x10-7Pa·L/s。
1.2、設備充入干燥氮氣至一個(gè)大氣壓,泵組開(kāi)始抽真空,在90分鐘內，抽到1.0x10 -3Pa.
1.3、抽氣機組:采用兩套分子泵、一套羅茨泵、一套前級直連泵、一套維持泵兩套氣動(dòng)高閥及一套旁抽閥門(mén)、管道、真空計等組成抽氣系統。
1.4、分子泵與機械泵之間安裝吸附阱，防止機械泵返油污染腔體內部樣品。
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磁控濺射鍍膜改造
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