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產(chǎn)品介紹

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倍增級磁控濺射鍍膜機

所屬分類(lèi)

磁控濺射鍍膜系統

產(chǎn)品描述

參數

倍增級磁控鍍膜機是為了提升光電倍增管批量化生產(chǎn)制造而提出的一臺新型非標定制設備。主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過(guò)程中設備實(shí)現對光電倍增管的倍增級基底進(jìn)行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試功能。工藝數值進(jìn)行數字化編程、程序控制和動(dòng)態(tài)監測，達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。該設備具備電腦及相應測試軟件，可以實(shí)現自動(dòng)控制和數據連續監測功能，烘烤溫度、離子轟擊時(shí)長(cháng)、輔助電壓強度、膜層沉積厚度可工藝編程，實(shí)時(shí)顯示、記錄、統計、計算、保存、輸出、導出各種運行數據，并檢查顯示處理故障狀態(tài)。

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