產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數
1、真空獲得及測量系統
1.1、系統極限真空度優(yōu)于1.0×10-4Pa，系統漏率優(yōu)于1×10-7Pa·L/s；
1.2、從大氣抽到4.0×10-3Pa時(shí)，抽氣時(shí)間低于30min（分子泵滿(mǎn)轉條件下）；
1.3、抽氣機組：采用分子泵+機械泵+羅茨泵、旁抽閥門(mén)、管道、真空計等組成抽氣系統。
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LJS-1120 離子束濺射鍍膜系統
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總經(jīng)理電話(huà)：13804984297/024-23758583-607
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