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產(chǎn)品介紹
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TA23-15D 水印

方形真空作用腔

所屬分類(lèi)
真空靶室設備
TA23-15D 水印
產(chǎn)品描述
參數

真空抽氣及測量系統

1、作用靶室系統空載極限真空度2小時(shí)到達5.0×10-4Pa（甲方負責）。

2、作用靶室系統總漏率優(yōu)于1.0×10-7Pa·L/s。

3、真空抽氣：采用磁懸浮分子泵+干泵（進(jìn)口普發(fā)，甲方自備）抽氣機組（無(wú)油系統），配有手動(dòng)閘板閥、旁抽閥門(mén)、波紋管管道、真空計、放氣閥等組成真空抽氣及測量系統。

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