產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數
裝置主要由真空獲得及測量系統、真空腔室系統、平移導軌平臺、CZK可移動(dòng)平臺、電氣控制系統等組成。
1、真空獲得及測量系統
1.1、真空腔室極限真空優(yōu)于1.0×10-4Pa，漏率小于1.0×10-10 Pa·m3/s；
1.2、真空泵組包括分子泵、機械泵、插板閥、擋板閥、壓差閥、充氣閥等；
1.3、真空泵組集成安裝在支架內部；
1.4、分子泵采用風(fēng)冷，前級泵采用渦旋干泵；
1.5、設置適當的真空抽氣管路及閥門(mén)，所有閥門(mén)采用電動(dòng)控制；真空規管設置在抽氣管路上；
1.6、帶有粗抽功能，渦旋干泵可不通過(guò)分子泵直接對真空室進(jìn)行粗抽；
1.7、真空泵組設置供電與供氣的快速插拔接口。
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