產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數
真空相關(guān)要求及指標
1)作用室內部空載極限真空度<1x10-5Pa。激光系統正常運行時(shí)真空腔內部真空度<5x10-5Pa。
2)作用室總漏率小于 1x10-11Pa.m3/s。
3)作用室可以充入干燥氮氣等緩沖氣體，以避免光學(xué)器件腐蝕，并增加其使用壽命。
4)作用室接口規格及數量:兩個(gè)真空規接口(CF35)，一個(gè)氣動(dòng)放氣閥接口(CF16)，一個(gè)手動(dòng)放氣閥門(mén)接口(CF16)，兩個(gè)閘板閥接口(CF200和CF250)，一個(gè)旁抽角閥接口(CF35)。
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真空腔室系統
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