產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
排氣銦封臺
所屬分類(lèi)
真空排氣臺設備
產(chǎn)品描述
參數
1、技術(shù)要求：
1.1、可實(shí)現陰極尺寸:Φ70mm，探測器尺寸：Φ100mm 制作工藝；
1.2、陰極制備室和銦封室內徑尺寸不小于Φ150×300mm；
1.3、銦封室內帶有加熱烘烤裝置，碘鎢燈烘烤，一個(gè)烘烤電源，烘烤溫度最高250℃， 程序控溫。
2、真空機排氣系統
2.1、系統工作真空度為5×10-7Pa(30小時(shí)內達到正常工作真空度)，空載極限真空度5×10-8Pa，系統總漏率≤10-8 PaL/s，要求真空系統至少連續工作兩周無(wú)故障；
2.2、采用進(jìn)口真空測量系統，量程為1×105Pa～1×10-8Pa，自動(dòng)換擋，并有真空突然降低保護功能；
2.3、全無(wú)油系統，采用進(jìn)口干泵、國產(chǎn)風(fēng)冷分子泵、進(jìn)口離子泵三級系統。
3、烘烤加熱及控制系統：
3.1、采用烘箱外烘烤結構對陰極制備室和銦封室進(jìn)行烘烤，矩形結構，臺架上面有隔熱板，烘箱采用兩半式手動(dòng)開(kāi)合結構，烘箱最高烘烤溫度400℃，可連續烘烤時(shí)間48小時(shí)；
3.2、烘箱要求溫度均勻，保溫性能良好，可實(shí)現10段以上編程自動(dòng)溫控，以及手動(dòng)設置；
3.3、加熱控制系統具有超溫報警功能；溫度超過(guò)某設定值時(shí)，烘箱自動(dòng)斷電，并須手動(dòng)干預才可恢復，確保加熱設備安全；
3.4、烘箱滿(mǎn)足在高度小于2.2m的條件下正常使用，具有斷電自鎖功能，確保操作人員安全；
3.5、真空機組與烘箱具有安全連鎖保護功能，設置手動(dòng)、自動(dòng)兩檔，在自動(dòng)模式下，如果真空度過(guò)低（比如1×10-4Pa），離子泵、烘箱自動(dòng)切斷電源進(jìn)入保護狀態(tài)，手動(dòng)干預才可恢復；
3.6、陰極室和銦封室應具有獨立的測溫元件，測溫精度±2℃；
3.7、銦封室應具有烘烤燈加熱功能，且其加熱控制系統需具有超溫報警功能，其加熱系統與真空機組具有如上的安全連鎖保護功能。
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