真空抽氣機組及推力器診斷測試平臺
主要技術(shù)指標：
1、極限真空度：優(yōu)于1×10-4Pa；
2、工作真空度：12sccm（氙氣）條件下真空度 <8.0×10-3Pa（以氮氣標定表頭顯示為準）；
3、系統漏率：1.0×10-7Pa·L/S；
4、抽氣機組：采用擴散泵（φ800）抽氣機組一套,配有國產(chǎn)氣動(dòng)擋板閥門(mén)、管道以及真空計等一套；
5、真空室采用臥式圓筒形前開(kāi)門(mén)結構，凈尺寸；Φ1000mm×1500mm，氟橡膠圈密封， 304不銹鋼材料。真空室右側和前開(kāi)門(mén)上各設一個(gè)透明測試窗口，通導分別為100mm×600mm（方形）和DN300mm.
6、氣體控制：兩路供氣，氣體質(zhì)量流量計控制，流量范圍：0～10sccm，0～20sccm，北京七星華創(chuàng )；質(zhì)量流量控制器與真空腔體絕緣；
7、系統配置固定平臺機構、移動(dòng)平臺機構和旋轉平臺機構各一套；
8、配置設備安裝臺架一套：型鋼制成的骨架結構，表面噴塑處理；
9、配置電控系統一套，具備斷水斷電連鎖保護功能。
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