真空抽氣機組及推力器診斷測試平臺
主要技術(shù)指標:
1、極限真空度:優(yōu)于1×10-4Pa;
2、工作真空度:12sccm(氙氣)條件下真空度 <8.0×10-3Pa(以氮氣標定表頭顯示為準);
3、系統漏率:1.0×10-7Pa·L/S;
4、抽氣機組:采用擴散泵(φ800)抽氣機組一套,配有國產(chǎn)氣動(dòng)擋板閥門(mén)、管道以及真空計等一套;
5、真空室采用臥式圓筒形前開(kāi)門(mén)結構,凈尺寸;Φ1000mm×1500mm,氟橡膠圈密封, 304不銹鋼材料。真空室右側和前開(kāi)門(mén)上各設一個(gè)透明測試窗口,通導分別為100mm×600mm(方形)和DN300mm.
6、氣體控制:兩路供氣,氣體質(zhì)量流量計控制,流量范圍:0~10sccm,0~20sccm,北京七星華創(chuàng );質(zhì)量流量控制器與真空腔體絕緣;
7、系統配置固定平臺機構、移動(dòng)平臺機構和旋轉平臺機構各一套;
8、配置設備安裝臺架一套:型鋼制成的骨架結構,表面噴塑處理;
9、配置電控系統一套,具備斷水斷電連鎖保護功能。
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