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TA-LPPⅡ低壓等離子體聚合系統

所屬分類(lèi)
LPP
TA-LPPⅡ低壓等離子體聚合系統一、主要用途:???用于制備高分子聚合材料二、技術(shù)指標：?1.極限真空：5×10-6Pa，恢復真空：5×10-6Pa（2h）；?2.氣路：氣路共28路，MKS公司質(zhì)量流量計控制；?3.RF輸出功率：4通道，每通道0～200W可調；輸出功率穩定精度為1.5%（100h）；等離子體均勻區面?積：400pmm2(f40mm)；電感式耦合，RF頻率：13.56MHz；低頻
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產(chǎn)品描述
參數

TA-LPPⅡ低壓等離子體聚合系統

一、主要用途:

    用于制備高分子聚合材料

二、技術(shù)指標：

 1.極限真空：5×10-6Pa，恢復真空：5×10-6Pa（2h）；

 2.氣路：氣路共28路，MKS公司質(zhì)量流量計控制；

 3.RF輸出功率：4通道，每通道0～200W可調；輸出功率穩定精度為1.5%（100h）；等離子體均勻區面

 積：400pmm2(f40mm)；電感式耦合，RF頻率：13.56MHz；低頻信號發(fā)生器：1～1MHz，輸出功率5W；直

 流偏壓：0～150V可調，輸出電流0～10mA，電壓穩定精度0.05%；

 4.工作真空室烘烤溫度最高至180℃。

三、系統組成:

    系統包括四個(gè)獨立工作的真空室、小抽速系統、諧振腔差分抽氣系統、烘烤系統、等離子體源、供氣控制系統、反彈盤(pán)系統、樣品臺升降系統、質(zhì)譜計及電控系統等組成。

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