LPP1等離子體聚合裝置真空室
項目技術(shù)內容與服務(wù)范圍
1、項目的組成：
（1）LPP1等離子體聚合裝置真空室的設計、制造；
（2）LPP1等離子體聚合裝置真空室的安裝調試。
2、項目的技術(shù)要求和技術(shù)指標：
(1)真空室極限真空度優(yōu)于5×10-5Pa；真空室漏率為：1×10-7PaL/s。
真空抽氣機組、閘板閥、真空計、規由甲方自備。乙方為系統配備抽氣截止閥及管道、手動(dòng)角閥等。
(2)真空室為立式圓筒結構，尺寸為：Φ250×300mm；材料：不銹鋼，壁厚δ=5mm。
真空室上主要有抽氣接口（側面，預留CF150）、連接法蘭接口CF100、觀(guān)察窗CF63、進(jìn)樣換樣門(mén)（Dg150）、一個(gè)進(jìn)氣閥門(mén)接口、一只真空放氣閥、高低真空規接口（CF35、CF16）等。
真空室上蓋同真空室膠圈密封，上蓋中心位置設置Φ120mm微波入射接口法蘭一個(gè)。
真空室下底同真空室也是膠圈密封結構。下底中心位置設置一個(gè)Dg150法蘭接口，為升降旋轉樣品架的安裝接口。
(3)帶可轉動(dòng)、升降和水冷的樣品盤(pán)（金屬鉬材質(zhì)，用于盛放微球樣品），均勻區尺寸大于Φ60mm，電動(dòng)升降范圍15mm；
本套樣品盤(pán)系統安裝在真空室下底中心位置。
樣品架通過(guò)電機+減速器+雙軸空心磁流體的方式，實(shí)現樣品的旋轉，轉速0～30轉/分；
通過(guò)電機+減速器+升降螺桿、導桿+導套的方式，實(shí)現樣品的上下調節，調節范圍±50mm。
樣品盤(pán)下有進(jìn)、出冷卻水管，可在實(shí)驗過(guò)程中對樣品盤(pán)持續冷卻。
(4)微波源系統：甲方自備。
(5)電控系統：控制樣品臺的旋轉。
(6)臺架：設備臺架一套，整體可升降移動(dòng)。
整體結構由型鋼焊接而成，臺架和四周?chē)寰负髧娚芴幚?，上面為亮面不銹鋼罩板。
臺架底部安裝四套移動(dòng)腳輪和四套支撐地腳，方便移動(dòng)和上下升降調節。調節高度：±50mm。
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