產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數
1、反應室：200×250（mm）為圓筒式雙層水冷不銹鋼結構。正前面安裝一個(gè)150鉸鏈觀(guān)察窗（窗直徑50毫米）和擋板，同時(shí)，該窗口帶有鉸鏈結構，以便進(jìn)行樣品的更換；
2、在真空室的正上方，安裝Rf電容耦合系統；
3、在真空室的正上方，通入一路混合反應氣體，和液化后氣體，氣體引入口2個(gè)；
4、在真空室的正下方，安裝可升降式加熱樣品臺，基片臺接口1個(gè)；
5、CF 35 電極引入口1個(gè)，分子泵抽氣口1個(gè).各法蘭密封口均采用氟橡膠圈和無(wú)氧銅圈密封。
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上一個(gè)
PECVDⅠ系統
下一個(gè)
等離子體滲氮實(shí)驗爐
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傳 真：024-89422961
總經(jīng)理電話(huà)：13804984297/024-23758583-607
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