產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數
技術(shù)要求：
1、鍍膜室：鍍膜腔室內尺寸約為800×1100mm，拋光不銹鋼（牌號304）材料，圓柱形結構，真空室前方鉸鏈方門(mén)結構，真空室帶有水冷帶冷卻，設備總高約2755mm。
2、抽氣系統：采用分子泵+干泵抽氣系統；
2.1、真空度：鍍膜室的極限真空度5×10~mbar；
2.2、工作真空度可達5×10*mbar，初始抽氣時(shí)分子泵滿(mǎn)轉后，1小時(shí)內達到工作真空度（可烘烤）；連續工作過(guò)程中，利用旁抽系統，分子泵不停機的狀態(tài)下，從1個(gè)大氣壓（真空室內充入干燥氮氣）恢復至工作真空，常溫下1小時(shí)，烘烤溫度（300℃）下1.5小時(shí)；
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