服務(wù)熱線(xiàn):

產(chǎn)品介紹
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zhuyaceng

助壓層制備裝置

zhuyaceng
產(chǎn)品描述
參數

1、系統極限真空度:≤1.0×10-5Pa。

2、系統漏率:≤1.0×10-8Pa.L/s。

3、工作氣壓調節范圍:1~95Pa;連續工作時(shí)間≥100h。

4、配置進(jìn)口A(yíng)E射頻電源一套。

5、上下電極板:手動(dòng)調節。

6、真空室。

7、氣路:系統共有5路氣體。

8、樣品臺:樣品臺有兩種,平面樣品臺和微球樣品臺。

9、使用程序控制分子泵、機械泵的啟停,控制各個(gè)電磁閥的開(kāi)閉。

10、運行保護系統。

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產(chǎn)品展示

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