產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數
1、系統極限真空度：≤8.0×10-1Pa。
2、系統漏率：＜1.0×10-7Pa.L/s。
3、工作氣壓調節范圍：5～150Pa；采用手動(dòng)/自動(dòng)兩種控制方式。
4、熱絲反應裝置。
5、樣品臺
6、真空室。
7、氣路：系統共有2路有機源。
8、電控系統：
8.1、系統需具備聯(lián)鎖保護功能，包括斷水斷電聯(lián)鎖保護、超溫報警等等。
8.2、壓力的控制具有手動(dòng)/自動(dòng)兩種控制模式。
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高溫化學(xué)氣相沉積系統
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助壓層制備裝置
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