產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數
技術(shù)要求及指標：
1、真空度及漏率：
1.1、極限真空度：≤1Pa。
1.2、漏率：優(yōu)于5.0×10-7Pa·L/s（采用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏）。
2、配置機械泵一套，配有真空抽氣管道、電磁截止閥、電磁壓差閥和電磁充氣閥以及真空計等組成真空抽氣系統。
3、真空室采用鐘罩式結構。
4、氣泡破裂有固定真空度數值并具有連鎖控制功能。
5、進(jìn)氣流量和壓力可調可控。
6、真空室采用二維移動(dòng)并帶有鎖緊功能，方便更換樣品等。
7、樣品托架。
8、配置電控系統一套。
9、采用集成式一體機結構，結構緊湊，占地空間小。
10、系統控制采用一鍵式啟動(dòng)和操作，自動(dòng)控制，完成整個(gè)工藝過(guò)程。
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上一個(gè)
射線(xiàn)管排氣系統
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排氣銦封臺
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