產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數
真空抽氣及測量系統
1、系統極限真空度優(yōu)于8.0×10-8Pa，系統漏率優(yōu)于1.0×10-7Pa·L/s。
2、采用離子泵+分子泵+前級干泵組成的真空抽氣機組（泵組選用國產(chǎn)品牌），配有連接管道、閥門(mén)及真空計等共同組成真空抽氣及測量系統。
3、主抽氣管道通導為DN100，管道上焊接各功能法蘭接口，安裝離子泵、分子泵、真空規管、放氣閥等。
4、抽氣管道外部纏繞烘烤帶，烘烤帶外部纏繞鋁箔保溫，提高系統極限真空度。
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