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真空排氣臺設備

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真空加熱設備

所屬分類(lèi)

真空排氣臺設備

產(chǎn)品描述

參數

真空獲得及測量系統
1、離子泵正常工作后，5 小時(shí)內抽到 5.0X10^-7Pa.
2、系統漏率≤5.0x10^-10Pa·m³/s。
3、主抽泵采用進(jìn)口美國Agilent VaclonPlus150離子泵，前級泵采用進(jìn)口德國 Leybold 生產(chǎn)的 TURBOVAC350i磁懸浮分子泵、進(jìn)口德國Leybold 生產(chǎn)的DIVAC4.SVT 膜片泵。
4、帶有預抽系統，配置進(jìn)口德國Leybold生產(chǎn)的 DIVAC4.8VT膜片泵
5、真空計選用成都睿寶生產(chǎn)的 ZDF-5201。
6、配置進(jìn)口瑞士VAT手動(dòng)閘板閥(CF100法蘭接口)、手動(dòng)預抽全金屬角閥(CF16法蘭接口)及氣動(dòng)樣品抽氣全金屬角閥(CF16法蘭接口)，進(jìn)口美國Swagelok 生產(chǎn)的氣動(dòng)隔膜閥(1/4英寸VCR 接口)。

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