1、預處理室系統
1.1、預處理室極限真空≤4.0×10-6 Pa，漏率低于1×10-8 Pa·L/s，保氣72 h真空度3.1×10-2 Pa。
1.2、真空機組采用德國萊寶分子泵+德國萊寶干泵+閘板閥。
1.3、真空測量采用成都睿寶復合真空計。
1.4、配置有鉸鏈開(kāi)門(mén)組件，并帶觀(guān)察窗，采用無(wú)氧銅金屬密封方式，CF150接口。
1.5、預處理室配置有樣品庫，樣品庫為八工位，配置樣品托八個(gè)，樣品庫可上下升降，順?lè )葱D，保障順暢交接樣品。
1.6、預處理室上有CF35備用接口2個(gè)。
1.7、配置有一套碘鎢燈照明組件，以便觀(guān)察樣品交接。
1.8、預處理室采用外纏繞烘烤帶加熱除氣方式。
2、濺射室系統
2.1、濺射室極限真空度≤4.8×10-8 Pa，漏率低于1×10-8 Pa·L/s，保氣72 h真空度小于2.6×10-3 Pa。
2.2、真空機組采用德國萊寶分子泵+德國萊寶干泵+上海三井離子泵+瑞士VAT手動(dòng)閘板閥（接口CF150）。
2.3、真空測量采用德國萊寶復合真空計監測。
2.4、鍍膜時(shí)采用美國Inficon薄膜壓力計監測。
2.5、與真空室相連的各組件均帶防污措施。
2.6、涂層過(guò)程，靶材刻蝕、傳樣和換靶均能夠清晰觀(guān)測。
2.7、濺射室上配置有一個(gè)CF200的真空室維護法蘭。
2.8、腔室內置碘鎢燈照明，快插拔更換，帶旋轉保護罩，外置LED綠光應急照明。
2.9、濺射室上預留有CF35/CF63/CF100備用接口。
2.10、濺射室采用外纏繞烘烤帶加熱除氣方式。
產(chǎn)品展示
總 機：024-23758583
傳 真：024-89422961
總經(jīng)理電話(huà)：13804984297/024-23758583-607
市 場(chǎng) 部（售后服務(wù)）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈陽(yáng)市蘇家屯區大淑堡瑰香街83-5號
Copyright ? 2022 沈陽(yáng)騰鰲真空技術(shù)有限公司 All Rights Reserved
遼ICP備15018801號 網(wǎng)站建設：中企動(dòng)力 沈陽(yáng) SEO標簽
手機二維碼
024-23758583
在線(xiàn)留言 