一、主要用途：　　用于主要需要精密封裝器件的排氣。二、技術(shù)指標：　　真空系統極限真空度：≤5×10-4Pa；　　工作真空度：≤5×10-2Pa；　　均溫區：φ350×350(mm)；　　烘箱內加熱溫度600℃，程序控，　　控溫精度±1.5℃。三、系統組成：　　本系統主要由真空抽氣系統、真空室、加熱控溫系統、臺架系統、升降機構、電控系統、真空測量系統等組成。