產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數(shù)
真空相關要求及指標
1)作用室內(nèi)部空載極限真空度<1x10-5Pa。激光系統(tǒng)正常運行時真空腔內(nèi)部真空度<5x10-5Pa。
2)作用室總漏率小于 1x10-11Pa.m3/s。
3)作用室可以充入干燥氮氣等緩沖氣體，以避免光學器件腐蝕，并增加其使用壽命。
4)作用室接口規(guī)格及數(shù)量:兩個真空規(guī)接口(CF35)，一個氣動放氣閥接口(CF16)，一個手動放氣閥門接口(CF16)，兩個閘板閥接口(CF200和CF250)，一個旁抽角閥接口(CF35)。
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真空腔室系統(tǒng)
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