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產(chǎn)品介紹
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247-1

超真空CVD系統

所屬分類(lèi)
CVD
一、主要用途：???用途保密。二、技術(shù)指標：???1、極限真空度：≤2×10-5Pa；分子泵抽氣機組；???2、石英管外徑φ150mm，石英管長(cháng)度800mm；石英管一個(gè)；???3、進(jìn)氣管路兩套，一路從樣品正上方傾斜噴淋，另一路從樣品側面水平噴淋；???4、石墨樣品托一套，石英保溫層一套；???5、線(xiàn)圈由甲方自備；???6、電控系統一套；???7、紅外測溫過(guò)渡室一套、取放樣室一套。三、系統組成：??
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產(chǎn)品描述
參數

一、主要用途：
    用途保密。

二、技術(shù)指標：

    1、極限真空度：≤2×10-5Pa；分子泵抽氣機組；

    2、石英管外徑φ150mm，石英管長(cháng)度 800 mm；石英管一個(gè)；

    3、進(jìn)氣管路兩套，一路從樣品正上方傾斜噴淋，另一路從樣品側面水平噴淋；

    4、石墨樣品托一套，石英保溫層一套；

    5、線(xiàn)圈由甲方自備；

    6、電控系統一套；

    7、紅外測溫過(guò)渡室一套、取放樣室一套。

三、系統組成： 

     該系統主要由真空抽氣及測量系統、石英加熱爐系統、壓力控制系統、氣體流量控制系統、感應加熱及測溫系統（用戶(hù)自備）、電控系統及輔助系統組成。

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